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            測量分析顯微鏡

            更新時(shí)間:2021-01-06點(diǎn)擊次數(shù):2113

            產(chǎn)品簡介:

            測量分析顯微鏡是一種兼顧影像、目視與納米高度測量多用的高精度測量儀器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準(zhǔn)系統(tǒng),可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu),是集光、機(jī)、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產(chǎn)品以二維測量為主,也可作三維輔助測量,應(yīng)用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機(jī)玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。

            產(chǎn)品特點(diǎn):

            1. X、Y、Z三軸0.5μm分辨力

            2. 電動(dòng)Z軸分辨力0.1μm

            3. 具有高度自動(dòng)測量

            4. 內(nèi)建偏光測量光學(xué)模塊

            5. 高速/無接觸測量

            6. 同軸光/底光測量

            7. 可搭配白光納米檢測模塊測量納米級厚度


            測量分析顯微鏡技術(shù)規(guī)格參數(shù):

            型號

            PZ-3020MA

            工作臺(tái)

            金屬臺(tái)尺寸(mm)

            500 x 330

            玻璃臺(tái)尺寸(mm)

            350 x 250

            X、Y軸運(yùn)動(dòng)行程(mm)

            300 x 200

            手動(dòng)Z軸行程(mm)

            120

            自動(dòng)Z軸行程(mm)

            2

            外形尺寸(mm)

            825 x 660 x 910

            儀器重量(kg)

            130

            X、Y、Z軸分辨力(μm)

            0.5

            自動(dòng)Z軸分辨力(μm)

            0.1

            示值誤差(μm)

            E1XY=( 2.5+ L/100) μm (L為測量長度,單位mm)

            物鏡放大倍數(shù)誤差

            包括畸變在內(nèi)的放大率誤差≦0.08%

            落射照明光源

            可調(diào)高亮度鹵素?zé)?/span>

            底光照明光源

            可調(diào)高亮度LED燈源

             

            目視系統(tǒng)

            影像系統(tǒng)

            物鏡放大倍數(shù)

            5X、10X、20X、50X

            5X、10X、20X、50X;10X Mirau物鏡

            目鏡放大倍數(shù)

            10X雙鏡筒

            1/2”CCD攝像機(jī)

            視頻總倍率

            50X ~500X

            142.5X ~1425X (19.5”顯示器,分辨率1440 x 900)

            單層透明膜厚度測量模組

            高精度測量模式

            快速測量模式

            厚度測量范圍

            100nm ~300nm

            300nm ~500nm

            500nm ~3μm

            3μm ~20μm

            分辨力

            5nm

            5nm

            7.5nm

            0.1μm

            測量軟件介紹:

             

            (1) 測量元素種類齊全:直接測量12種元素(點(diǎn)、直線、圓、圓弧、橢圓、矩形、槽形、○形環(huán)、距離、角度、開云線,閉云線)。測量閉合云線的周長,面積及重心,使用三次插值算法,為目前準(zhǔn)測量云線的方法。采樣點(diǎn)越多,越準(zhǔn)確。

            (2) *尋邊算法:確保尋邊準(zhǔn)確無誤.亞像素尋邊,精度可達(dá)像素的1/10,專業(yè)的專家尋邊模式,或解決打了表面光之后,尋邊困難的問題,通過各種尋邊算法的設(shè)置,可解決各種各樣的尋邊難題,從而準(zhǔn)確的抓取邊界。有自動(dòng)去毛邊功能,對陰暗不明的邊界一樣可以準(zhǔn)確的找出.

            (3) 宏測量功能:宏測量功能就是,將一些測量,構(gòu)造命令關(guān)聯(lián)到一個(gè)按鈕上。點(diǎn)擊按鈕,即開始執(zhí)行宏測量功能,宏測量功能會(huì)自動(dòng)完成構(gòu)造動(dòng)作,減少用戶操作鼠標(biāo)次數(shù),提高工作效率。軟件提供了16組宏測量功能,用戶可以自己編輯宏測量功能按鈕的圖標(biāo)。

            (4) 強(qiáng)大的構(gòu)造功能:軟件提供向?qū)У臉?gòu)造功能,這是軟件的一大特色。客戶想要什么結(jié)果,直接點(diǎn)擊相關(guān)按鈕,就可以自動(dòng)得到想要的結(jié)果.軟件提供了10種構(gòu)造法(【平移】、【旋轉(zhuǎn)】、【提取】、【組合】、【平行】、【垂直】、【鏡像】、【對稱】、【相交】、【相切】)

            (5) 的小R角測量算法:對于大半徑,小弧長的R角,一直是測量界的測量難題,我公司經(jīng)過大量的實(shí)驗(yàn)及算法優(yōu)化,終于創(chuàng)造出一套行之有效的算法,很好的解決這一問題.通過測量弧及弧相鄰的兩條切線,可解決這一難題.經(jīng)實(shí)踐,重復(fù)性可達(dá)0.01之內(nèi).

            (6) 自動(dòng)判別測量(自動(dòng)識別線,圓,弧):只要將鼠標(biāo)放在工件的邊緣上,即可自動(dòng)尋邊得到線,圓或者弧.

            (7) 顯示結(jié)果豐富:對各種元素的測量結(jié)果顯示﹐其信息量大﹐能滿足各種客戶的需要。并可設(shè)置哪些內(nèi)容顯示,哪些內(nèi)容不顯示﹐也可以單個(gè)元素進(jìn)行設(shè)置其顯示信息。也可對同類元素進(jìn)行設(shè)置.

            (8) 超差紅色警示:如果測量結(jié)果超差,會(huì)指示是哪項(xiàng)內(nèi)容超差,并將該項(xiàng)顯示成紅色,對應(yīng)的圖形也會(huì)變成紅色.

            (9) 能顯示光學(xué)放大倍率和屏幕放大倍率:下圖中顯示了光學(xué)放大倍率與屏幕放大倍率,屏幕放大倍率是由軟件自動(dòng)計(jì)算得到的,并能顯示一個(gè)像素相當(dāng)于多少mm。

            (10) 能建立多重工件坐標(biāo)系:可根據(jù)圖紙建立多重工件座標(biāo)系。實(shí)現(xiàn)各坐標(biāo)系的座標(biāo)變換;能方便地實(shí)現(xiàn)直角坐標(biāo)系與極坐標(biāo)系之間的相互轉(zhuǎn)換;能實(shí)現(xiàn)各工件坐標(biāo)系的存儲(chǔ)和調(diào)用。建立座標(biāo)系后,如果選擇了十字線旋轉(zhuǎn)功能,十字線會(huì)作旋轉(zhuǎn),指示座標(biāo)系的旋轉(zhuǎn)方向

            (11) 建立用戶程序方便快捷:可以通過平移和旋轉(zhuǎn)建立的用戶程序。

            (12) 編輯修改用戶程序,直觀方便:可以刪除,插入任一元素,包括座標(biāo)系。可以查看某個(gè)元素的尋邊狀況,及改變尋邊測量的環(huán)境。如果有必要,可以重新測量一個(gè)元素,以改變它的測量方法及環(huán)境。

            (13) 機(jī)器自動(dòng)測量過程中可進(jìn)行手動(dòng)測量:如果客戶在測量某個(gè),或某幾個(gè)元素時(shí),希望手動(dòng)測量它,而不希望機(jī)器自動(dòng)去測,軟件可以輕松實(shí)現(xiàn)。軟件提供了斷點(diǎn)設(shè)置功能,可在要手動(dòng)測量的元素地方,設(shè)置斷點(diǎn),則機(jī)器運(yùn)行到該處時(shí),會(huì)自動(dòng)停下來。

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