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            技術(shù)文章

            TECHNICAL ARTICLES

            當(dāng)前位置:首頁技術(shù)文章半導(dǎo)體精密影像測量儀

            半導(dǎo)體精密影像測量儀

            更新時間:2021-01-04點擊次數(shù):953

            半導(dǎo)體影像測量儀它是影像測量技術(shù)的高級階段,具有高度智能化與自動化特點。其軟硬件性能讓坐標(biāo)尺寸測量變得便捷而愜意,擁有基于機(jī)器視覺與過程控制的自動學(xué)習(xí)功能,依托數(shù)字化儀器高速而準(zhǔn)確的微米級走位,可將測量過程的路徑,對焦、選點、功能切換、人工修正、燈光匹配等操作過程自學(xué)并記憶。

            半導(dǎo)體影像測量儀

            本公司產(chǎn)品被用于液晶面板、導(dǎo)電粒子、PCB板、TP、TFT、手機(jī)配件、精密模具、刀具、齒輪、五金產(chǎn)品、端子、螺絲、彈簧、電子產(chǎn)品、連接器、鐘表、電線、沖壓產(chǎn)品、塑膠產(chǎn)品、汽車配件、航天航空、高等院校、科研院所等領(lǐng)域。

            半導(dǎo)體影像測量儀特點

            它是影像測量技術(shù)具有高度智能化與自動化特點。其軟硬件性能讓坐標(biāo)尺寸測量變得便捷而愜意,擁有基于機(jī)器視覺與過程控制的自動學(xué)習(xí)功能,依托數(shù)字化儀器高速而準(zhǔn)確的微米級走位,可將測量過程的路徑,對焦、選點、功能切換、人工修正、燈光匹配等操作過程自學(xué)并記憶。全自動影像測量儀可以輕松學(xué)會操作員的所有實操過程,結(jié)合其自動對焦和區(qū)域搜尋、目標(biāo)鎖定、邊緣提取、理匹選點的模糊運(yùn)算實現(xiàn)人工智能,可自動修正由工件差異和走位差別導(dǎo)致的偏移實現(xiàn)準(zhǔn)確選點,具有高精度重復(fù)性。從而使操作人員從疲勞的準(zhǔn)確目視對位,頻繁選點、重復(fù)走位、功能切換等單調(diào)操作和日益繁重的待測任務(wù)中解脫出來,成百倍地提高工件批測效率,滿足工業(yè)抽檢與大批量檢測需要。

            規(guī)格參數(shù):

            項目

            主要技術(shù)參數(shù)

            儀器型號

            PZ-3020CNC

            PZ-4030CNC

            PZ-5040CNC

            測量范圍(mm)

            300*200*200

            400*300*200

            500*400*200

            光學(xué)尺解析度

            0.001mm

            測量精度

            X.Y Axis:(2.4+L/200)μm

            重復(fù)精度

            3μm

            伺服電機(jī)

            200W伺服電機(jī)

            測量軟件

            QMS-3D

            鏡頭

            0.75-4.5X高清晰度變焦倍率鏡頭

            CCD

            43萬像素高清晰彩色攝像頭

            放大倍率

            34~220X

            表面光源

            5環(huán)40區(qū)

            輪廓底光

            5W超大LED平行光路設(shè)計無極連續(xù)可調(diào)LED光源

            傳動方式

            滾珠絲桿及導(dǎo)軌

            操作方式

            程序控制+搖桿

            工作限重

            35KG

            機(jī)器重量

            440KG

            520KG

            600KG

            測量軟件介紹:

            (1) 測量元素種類齊全:直接測量12種元素(點、直線、圓、圓弧、橢圓、矩形、槽形、○形環(huán)、距離、角度、開云線,閉云線)。測量閉合云線的周長,面積及重心,使用三次插值算法,為目前準(zhǔn)測量云線的方法。采樣點越多,越準(zhǔn)確。

            (2) *尋邊算法:確保尋邊準(zhǔn)確無誤.亞像素尋邊,精度可達(dá)像素的1/10,尋邊模式,或解決打了表面光之后,尋邊困難的問題,通過各種尋邊算法的設(shè)置,可解決各種各樣的尋邊難題,從而準(zhǔn)確的抓取邊界。有自動去毛邊功能,對陰暗不明的邊界一樣可以準(zhǔn)確的找出.

            (3) 宏測量功能:宏測量功能就是,將一些測量,構(gòu)造命令關(guān)聯(lián)到一個按鈕上。點擊按鈕,即開始執(zhí)行宏測量功能,宏測量功能會自動完成構(gòu)造動作,減少用戶操作鼠標(biāo)次數(shù),提高工作效率。軟件提供了16組宏測量功能,用戶可以自己編輯宏測量功能按鈕的圖標(biāo)。

            (4) 強(qiáng)大的構(gòu)造功能:軟件提供向?qū)У臉?gòu)造功能,這是軟件的一大特色。客戶想要什么結(jié)果,直接點擊相關(guān)按鈕,就可以自動得到想要的結(jié)果.軟件提供了10種構(gòu)造法(【平移】、【旋轉(zhuǎn)】、【提取】、【組合】、【平行】、【垂直】、【鏡像】、【對稱】、【相交】、【相切】)

            (5) 的小R角測量算法:對于大半徑,小弧長的R角,一直是測量界的測量難題,我公司經(jīng)過大量的實驗及算法優(yōu)化,終于創(chuàng)造出一套行之有效的算法,很好的解決這一問題.通過測量弧及弧相鄰的兩條切線,可解決這一難題.經(jīng)實踐,重復(fù)性可達(dá)0.01之內(nèi).

            (6) 自動判別測量(自動識別線,圓,弧):只要將鼠標(biāo)放在工件的邊緣上,即可自動尋邊得到線,圓或者弧.

            (7) 顯示結(jié)果豐富:對各種元素的測量結(jié)果顯示﹐其信息量大﹐能滿足各種客戶的需要。并可設(shè)置哪些內(nèi)容顯示,哪些內(nèi)容不顯示﹐也可以單個元素進(jìn)行單獨(dú)設(shè)置其顯示信息。也可對同類元素進(jìn)行設(shè)置.

            (8) 超差紅色警示:如果測量結(jié)果超差,會指示是哪項內(nèi)容超差,并將該項顯示成紅色,對應(yīng)的圖形也會變成紅色.

            (9) 能顯示光學(xué)放大倍率和屏幕放大倍率:下圖中顯示了光學(xué)放大倍率與屏幕放大倍率,屏幕放大倍率是由軟件自動計算得到的,并能顯示一個像素相當(dāng)于多少mm。

            (10) 能建立多重工件坐標(biāo)系:可根據(jù)圖紙建立多重工件座標(biāo)系。實現(xiàn)各坐標(biāo)系的座標(biāo)變換;能方便地實現(xiàn)直角坐標(biāo)系與極坐標(biāo)系之間的相互轉(zhuǎn)換;能實現(xiàn)各工件坐標(biāo)系的存儲和調(diào)用。建立座標(biāo)系后,如果選擇了十字線旋轉(zhuǎn)功能,十字線會作旋轉(zhuǎn),指示座標(biāo)系的旋轉(zhuǎn)方向

            (11) 建立用戶程序方快捷:可以通過平移和旋轉(zhuǎn)建立的用戶程序。

            (12) 編輯修改用戶程序,直觀方便:可以刪除,插入任一元素,包括座標(biāo)系。可以查看某個元素的尋邊狀況,及改變尋邊測量的環(huán)境。如果有必要,可以重新測量一個元素,以改變它的測量方法及環(huán)境。

            (13) 機(jī)器自動測量過程中可進(jìn)行手動測量:如果客戶在測量某個,或某幾個元素時,希望手動測量它,而不希望機(jī)器自動去測,軟件可以輕松實現(xiàn)。軟件提供了斷點設(shè)置功能,可在要手動測量的元素地方,設(shè)置斷點,則機(jī)器運(yùn)行到該處時,會自動停下來。

             

            (14) 運(yùn)行用戶程序時,可將數(shù)據(jù)自動對齊導(dǎo)入到Excel中:

            (15)運(yùn)行用戶程序時,可將數(shù)據(jù)自動導(dǎo)入到專業(yè)的SPC軟件中:在我們軟件中設(shè)置好工件資料后,只要測量完一個工件,數(shù)據(jù)會自動發(fā)送到SPC軟件數(shù)據(jù)中,不需要通過TXT文件或第三方軟件進(jìn)行轉(zhuǎn)換。整個過程都是自動完成的,不需要人為的干涉。

            (16) 測量異常時,可以進(jìn)行智能處理:軟件提供超差暫停和測量失敗暫停功能,比如,在測量的過程,不小心工件動了。這時機(jī)器會暫停下來,并讓選擇作后面的進(jìn)一步的處理.

            (17) 自動對焦功能:提供準(zhǔn)確對焦和快速對焦功能,可以通過對焦測量高度值,在2.0X的光學(xué)倍率下,對焦重復(fù)性可達(dá)0.003mm..或通過自動對焦得到當(dāng)前的點座標(biāo)。也可以設(shè)置在運(yùn)行用戶程序時,是否進(jìn)行自動對焦.

            (18) 輔助調(diào)光:調(diào)光指示器,會指示用戶什么時候光強(qiáng)﹐避免了因打光所帶來的測量誤差﹐提高了測量精度和測量效率。

            (19 ) 多達(dá)9種運(yùn)動控制模式:軟件提供九種運(yùn)動的控制模式,方便用戶移動工作臺,分別為:用操作盒移動工作臺,在影像窗口點擊鼠標(biāo)中鍵,在影像窗口接住右鍵不放進(jìn)行移動,在繪圖窗口點擊鼠標(biāo)中鍵,在元素列表窗口選擇移到此處,在運(yùn)動控制窗口區(qū)點擊鼠標(biāo),在掃描窗口點擊鼠標(biāo)中鍵,在地圖窗口點擊鼠標(biāo)中鍵,輸入座標(biāo)值進(jìn)行移動。

            (20) 標(biāo)注功能:能直接在繪圖區(qū)及影像區(qū)的元素圖形上標(biāo)注角度、距離、X方向距離、Y方向距離、圓(弧)半徑、圓(弧)直徑、弧長。

            (21) 系統(tǒng)誤差修正:軟件帶有系統(tǒng)誤差修正功能。目前可進(jìn)行線性,區(qū)段補(bǔ)償,垂直度誤差補(bǔ)償,面補(bǔ)正,Z軸直線度誤差補(bǔ)償,鏡頭中心偏移誤差補(bǔ)償。

            (22) 公差:完善的尺寸公差計算能力。可設(shè)置默認(rèn)的公差帶。并且可以批量設(shè)置公差帶及名義值.符合國標(biāo)的形位公差計算能力,能計算形狀公差,真直度,圓、弧的真圓度。位置公差計算包含位置度、平行度、垂直度、傾斜度及同心度﹐對稱度。超差能自動報警,并以紅色警示。

            (23) 極座標(biāo)和直角坐標(biāo)可進(jìn)行切換:軟件支持極座標(biāo)與直角坐標(biāo)混合編程,可以是某幾個元素顯示為極座標(biāo),某幾個元素顯示為直角坐標(biāo)。并能對應(yīng)的導(dǎo)出到報表中。

            (24) 自動打印功能:軟件支持自動打印功能,即測量完成后,可以自動打印結(jié)果,并且可以打印超差的元素,或者是合格的元素,或是所有元素。這些都可以由客戶自已設(shè)定

            (25) 影像設(shè)置的參數(shù)可以進(jìn)行編程:即對影像設(shè)置的對比度,亮度,色度可以記錄進(jìn)程序中,在再運(yùn)行時,可以重現(xiàn)當(dāng)時設(shè)置的影像狀態(tài).

            (26) DXF檔導(dǎo)入編程:Dxf檔導(dǎo)入,自動產(chǎn)生名義值,并自動產(chǎn)生工件的測量程序。測量完成后,可進(jìn)行測量值和名義值的比對。

            (27) 掃描功能:可多區(qū)域掃描工件的邊緣上的點,這個掃描是將影像窗口內(nèi)邊緣上的點全部掃描進(jìn)來,形成點數(shù)據(jù),并將掃描得到的點保存成DXF檔,下圖為整個工件的邊緣掃描所得到的圖形,點擊鼠標(biāo)中鍵移到當(dāng)前處。

            (28) 可以加裝第二個攝像頭,用來進(jìn)行工件定位:軟件支持第二個攝像頭,可以拍到圖像范圍,從而可以利用這個攝像頭進(jìn)行工件定位。在這個攝像頭拍的圖像中,可以指哪里,機(jī)器將移向哪里。便于客戶快速找到要測量的工件位置

            (29) 大地圖功能,并能在地圖進(jìn)行標(biāo)注:可將工件分成多個區(qū)域進(jìn)行拍照,形成大地圖,并能在地圖上進(jìn)行標(biāo)注。

             

            (30) 一次測量多個相同工件(陣列測量):提供多個相同工件放置在工件臺,可以一次性測量完成所有的工件,這就是陣列測量。軟件提供矩形陣列和環(huán)形陣列功能。矩形陣列就是工件在水平和垂直方向呈規(guī)律放置。環(huán)形陣列就是工件繞著某點旋轉(zhuǎn),呈環(huán)形狀態(tài)。并自動將測量數(shù)據(jù)導(dǎo)出到報表及SPC軟件中.

            (31) 輪廓跟蹤:可以進(jìn)行自動輪廓跟蹤,無論是規(guī)則的圖形還是不規(guī)則的圖形,都可以進(jìn)行自動跟蹤工件的輪廓。

            (32) 影像測量平面度的功能:軟件有通過影像測量平面度的功能及求點到平面的距離等簡易3D測量功能.

            (33)在線SPC功能:提供SPC軟件﹐進(jìn)行測量數(shù)據(jù)的后續(xù)處理,測量軟件與SPC軟件無縫連接﹐測量軟件完成測量后,自動將數(shù)據(jù)導(dǎo)入到SPC數(shù)據(jù)庫﹐不需要人工再輸入﹐所有的管制界限的設(shè)置全部在測量軟件中完成﹐SPC軟件無需再設(shè)置﹐從而大大提高效率。SPC提供制程用和分析用管制圖。提供的管制圖有:平均數(shù)全距管制圖,平均數(shù)標(biāo)準(zhǔn)差管制圖,中位數(shù)全距管制圖,個別值與移動平均值管制圖,直方圖,cpk推移圖,規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)差管制圖,制程標(biāo)準(zhǔn)差管制圖,標(biāo)準(zhǔn)差比較圖,制程建議分析圖等。對生成的圖形可以利用八大判定規(guī)則進(jìn)行判定。

            (34) 可以加裝激光測頭:可以加裝激光測頭,進(jìn)行激光測量,激光測頭可與影像測頭共座標(biāo)。并可以進(jìn)行混合編程。

            (35) 可以加裝接觸測頭:軟件支持接觸測頭,進(jìn)行三維空間的測量。

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